一般三坐標(biāo)校準(zhǔn)保養(yǎng)過(guò)程主要包括以下幾部分：
1、檢查電腦和有關(guān)備份文件；
2、清理三坐標(biāo)導(dǎo)軌；
3、檢查外罩；
4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管；
5、檢查氣體過(guò)濾機(jī)構(gòu)，并對(duì)之進(jìn)行基本保養(yǎng)和維護(hù)；
6、檢查z軸安全保護(hù)裝置，檢查氣動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)；
7、檢查和清洗氣浮軸承；
8、檢查調(diào)整電氣和機(jī)械行程開(kāi)關(guān)；
9、檢查和調(diào)整傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并做常規(guī)保養(yǎng)；
10、檢查和調(diào)整測(cè)量機(jī)水平；
11、檢查和調(diào)整三坐標(biāo)橫梁與xY工作平面的平行；
12、最好用激光干涉儀檢測(cè)和補(bǔ)償測(cè)量機(jī)各軸誤差。
（來(lái)源：測(cè)量俱樂(lè)部）
